製品情報
半導体関連生産設備
半導体関連生産設備では、シリコンウェーハを各種処理装置に取り込むロードポート、大気・真空環境に対応可能なウェーハ搬送ロボットおよびそれらを統合したEFEMなどを製造・販売しています。また、FOPLP設備に使用するロードポート、搬送ロボット、それらを統合したEFEMも準備しています。
EFEM/ソーター "Freedom ®"
ウェーハおよびパネルの処理を行うプロセス装置の前面にあり、クリーンな環境で容器とプロセス装置間においてウェーハおよびパネルの受け渡しを行うEFEMと、ウェーハおよびパネルを移載するソーターのシリーズです。
* Freedom は日本、米国、韓国および台湾における当社の登録商標です。300mm EFEM/ソーターシリーズ
FOPLP EFEM/ソーターシリーズ
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4 Port
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3 Port
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2 Port
ウェーハ搬送ロボット
低真空環境から高真空環境まで対応可能なウェーハ搬送ロボットです。
※以下のシリーズにつきましては⽣産中⽌（時期）となっております。
AR-W（2014/11/30）
300mm ウェーハ搬送ロボット
FOPLP 搬送ロボット
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FOPLP対応 AR-Wnシリーズ
アライナ
ウェーハの位置決め装置です。
プリアライナ
エッジグリップアライナ
ロードポート
300mm、FOPLPウェーハ対応のロードポートです。
※以下のシリーズにつきましては⽣産中⽌（時期）となっております。
KWF-12（2003/4/1）、KWF-12A（2004/1/30）、KWF-12B（2006/9/1）、KWF-12C（2013/3/31）、KWF-12Eおよび12E2（2015/3/31）、
KWF-12FおよびKWF-12F2(2019/3/31)
FOUPオープナ
SMIFオープナ
200mmウェーハ対応のSMIFポッドオープナです。
※以下のシリーズにつきましては⽣産中⽌（時期）となっております。
KWP-08B（2017/1/30）
