半導体関連生産設備

半導体関連生産設備では、シリコンウェーハを各種処理装置に取り込むロードポート、大気・真空環境に対応可能なウェーハ搬送ロボットおよびそれらを統合したEFEMなどを製造・販売しています。

EFEM/ソーター

ウェーハの処理を行うプロセス装置の前面にあり、クリーンな環境でFOUP(容器)とプロセス装置間においてウェーハの受け渡しを行うEFEMと、ウェーハを移載するソーターのシリーズです。

450mm EFEM/ソーターシリーズ

300mm EFEM/ソーターシリーズ

ウェーハ搬送ロボット

低真空環境から高真空環境まで対応可能なウェーハ搬送ロボットです。

450mm ウェーハ搬送ロボット

300mm ウェーハ搬送ロボット

アライナ

ウェーハの位置決め装置です。

プリアライナ

エッジグリップアライナ

ロードポート

450mm、300mmウェーハ対応のロードポートです。

FOUPオープナ

SMIFオープナ

200mmウェーハ対応のSMIFポッドオープナです。

200mm SMIFポッドオープナ