製品情報
半導体関連生産設備
ロードポート
FOUPオープナ
FOPLP対応 HPLPシリーズ
300mm/450mmで培った機能を伝承
特長
300mmFOUP/450mmFOUPオープナーの技術を継承 |
独自の気流解析により清浄空間の確保 |
|---|---|
各種容器に対応 |
アタッチメント付け替えにて510×515mm用、600×600mm用の両方のFOUPに対応可能※ |
マッピング性能向上 |
各種パネル（各種材質・反りパネル・薄パネル）に対応 |
SEMI企画準拠 |
E181、E182準拠 |