製品情報
半導体関連生産設備
EFEM/ソーター "Freedom ®"
300mm EFEM/ソーターシリーズ
4 Port
多彩な要求に対応可能なフレキシブルレイアウト
【特長】
SEMIソフトウェアスタンダード |
GEM300に対応 |
|---|---|
ミニマムフットプリント |
ロボット、ロードポート、ハンドの最適配置が可能 |
パーティクルレス |
業界で評価されたロードポート、ロボット、筐体（エンクロージャー） |
実績の高信頼性 |
過酷な環境で稼働している4万台以上のロボット技術を継承 |