半導体関連生産設備

EFEM/ソーター "Freedom ®"

300mm EFEM/ソーターシリーズ

4 Port

実績多数 高スループットで微細化、N2パージ対応



【特長】

微細化・高集積化に対応

スーパークリーン技術により、微細化に対応
短時間で置換可能なN2パージ機能

豊富なバリエーション、カスタム対応

拡張性がある基本設計によりあらゆるご要求に対応可能

実績の高信頼

4万台の納入実績に裏付けされたロボット技術を継承
5年間メンテナンスフリー

スループット

独自のモーション技術により、500枚/hの高スループットを達成

環境負荷低減

サーボモーターのバッテリーレス化