製品情報
半導体関連生産設備
ウェーハ搬送ロボット
300mm ウェーハ搬送ロボット
真空対応 AR-Wnシリーズ
300 ㎜/450 ㎜ウェーハ兼用
高真空 高精度、高速動作、高信頼でアームバリエーションも豊富
【特長】
微細化へ対応 |
ダイレクトドライブモーター搭載により、振動0.1G以下を実現 アーム駆動にスチールベルトを使用し、ヨーイング(横ブレ)およびドリフト(一方向への移動)を低減 |
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高スループット |
高剛性、高精度、高速搬送により、高スループットを実現 スマートモーション機能を搭載し、搬送時間を短縮 |
高信頼 |
磁性流体シールを削減し、チェンバー内の流体飛散を防止 衝突検知停止機能を搭載し、アームへのダメージを抑え、搬送時間を短縮 |
メンテナンス性の向上 |
特殊アブソリュートエンコーダおよびコントローラーのバッテリーレス化により、メンテナンス性が大幅に向上 |