製品情報 TOP 製品情報 半導体関連生産設備 300/200mm プリアライナ 半導体関連生産設備 アライナ プリアライナ 300/200mm プリアライナ センサー方式で非接触、パーティクルを抑制 【特長】 高クリーン性能 面積を最小限にすることでパーティクルの発生を抑制 高速アライメント 非接触(センサー方式)で、オリフラタイプ・ノッチタイプに対応アライメント時間 2秒以下、補正精度 ±0.2°で高速処理による高アライメントを実現 総合カタログ 8.76MB お問い合わせ 前へ 次へ 一覧へ戻る PRODUCT 製品情報トップ 自動車関連生産設備 半導体関連生産設備 パネル製造装置 産業用ロボット 家電関連生産設備 パワーモジュール関連 搬送設備・自動倉庫など 医療・理化学機器 デジタルツインサービス エコ電動シリーズ特設ページ