製品情報
半導体関連生産設備
EFEM/ソーター "Freedom ®"
300mm EFEM/ソーターシリーズ
2 Port
実績多数 高スループットで微細化、N2パージ対応
【特長】
微細化・高集積化に対応 |
スーパークリーン技術により、微細化に対応 |
|---|---|
豊富なバリエーション、カスタム対応 |
拡張性がある基本設計によりあらゆるご要求に対応可能 |
実績の高信頼 |
4万台の納入実績に裏付けされたロボット技術を継承 |
スループット |
独自のモーション技術により、500枚/hの高スループットを達成 |
環境負荷低減 |
サーボモーターのバッテリーレス化 |