製品情報
半導体関連生産設備
SMIFオープナ
200mm SMIFポッドオープナ
KWYシリーズ （マニュアル）
オペレータによる容器開閉をサポート
【特長】
マニュアル開閉タイプ |
オペレータにより容器の開閉をサポート |
|---|---|
高クリーン性能 |
機構部の隔離と強制排気によるパーティクル低減 |
気流制御でパーティクルの巻き込み防止 |
容器開閉動作の制御による乱流・巻き込み防止 |
レチクルポッド対応 |
RSP-200規格容器の開閉可能（オプション） |