製品情報 TOP 製品情報 半導体関連生産設備 KWOシリーズ(アーム付) 半導体関連生産設備 SMIFオープナ 200mm SMIFポッドオープナ KWOシリーズ(アーム付) チルト機構付アームを搭載 アーム収納時 【特長】 カセット搬送アーム付きタイプ プロセス装置へカセットを搬送するチルト機構付きアームを搭載 高クリーン性能 機構部の隔離と強制排気によるパーティクル低減 気流制御でパーティクルの巻き込み防止 開閉動作の制御による乱流・巻き込みの防止 総合カタログ 8.76MB お問い合わせ 前へ 次へ 一覧へ戻る PRODUCT 製品情報トップ 自動車関連生産設備 半導体関連生産設備 パネル製造装置 産業用ロボット 家電関連生産設備 パワーモジュール関連 搬送設備・自動倉庫など 医療・理化学機器 デジタルツインサービス エコ電動シリーズ特設ページ