製品情報

半導体関連生産設備

SMIFオープナ

200mm SMIFポッドオープナ

KWOシリーズ（アーム付）

チルト機構付アームを搭載

アーム収納時

【特長】


カセット搬送アーム付きタイプ	プロセス装置へカセットを搬送するチルト機構付きアームを搭載
高クリーン性能	機構部の隔離と強制排気によるパーティクル低減
気流制御でパーティクルの巻き込み防止	開閉動作の制御による乱流・巻き込みの防止

総合カタログ 8.76MB

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