パネル製造装置

パネル製造装置においては、有機ELや液晶などのディスプレイ用に使われるガラスの切断装置、塗布装置、貼合装置、基板などの搬送ロボットを用いたオートローダーシステムなどの提供と共に、複雑な生産工程のレイアウトや物流計画に対しても、お客さまの生産形態や条件を考慮した最適なシステムをご提案いたします。

コーターシステム

コーターシステム

第3世代から10世代の基板サイズに対応した高精度塗布システムです。カセットポート、塗布装置、減圧乾燥装置、基板搬送ロボットまで必要な装置は全てシステムに組み込んでいます。

ガラスカッティングシステム

ガラスカッティングシステム

ディスプレイ用に使われている化学強化ガラスを切断、搬送、分断、移載までトータルソリューションで対応できます。

塗布貼合システム

塗布貼合システム

基板搬送システムオートローダー

オートローダーシステム HLDシリーズ

基板などをカセットに搬出入するシステムです。補器類をすべて装置内へ内蔵し、直交型移載ロボットの採用により、省スペース化を実現しました。また、高速搬送ロボットの採用により搬送時間を短縮し、高速搬送に耐えられる剛性も確保しています。