産業用ロボット

Hirataのコアテクノロジーであるロボット技術を活かし、多くの産業に向けた各種ロボット・制御装置を製造・販売しています。当社のロボットは各生産設備に組み込まれ、その知能化を実現するなど、システムの一部として活躍しています。

直交大型ロボット

ガントリーロボットシリーズ

直交小型ロボット

小型、高速、高精度の汎用タイプの新型直交型ロボットです。

MACHINE-BASEシリーズ

スカラ小型ロボット

ものづくりにおける豊富な経験とノウハウを活かした、高速で高精度の新型スカラロボットです。

ARM-BASEシリーズ

ロボットコントローラー

小型の直交型およびスカラ型ロボット用のコントローラーを単体サポートします。

ロボットコントローラー

基板搬送ロボットシリーズ

第5-6世代基板搬送ロボット

中型基板を高速かつ安全に搬送します。

第7-10世代基板搬送ロボット

大型基板を高速かつ安全に搬送します。

ウェーハ搬送ロボット

低真空環境から高真空環境まで対応可能なウェーハ搬送ロボットです。

450mm ウェーハ搬送ロボット

300mm ウェーハ搬送ロボット

EFEM/ソーター

ウェーハの処理を行うプロセス装置の前面にあり、クリーンな環境でFOUP(容器)とプロセス装置間においてウェーハの受け渡しを行うEFEMと、ウェーハを移載するソーターのシリーズです。

450mm EFEM/ソーターシリーズ

300mm EFEM/ソーターシリーズ

アライナ

ウェーハの位置決め装置です。

プリアライナ

エッジグリップアライナ

ロードポート

450mm、300mmウェーハ対応のロードポートです。

FOUPオープナ

SMIFオープナ

200mmウェーハ対応のSMIFポッドオープナです。

200mm SMIFポッドオープナ

その他

その他の当社取り扱い製品をご紹介します。

その他のシステムなど