製品情報
産業用ロボット
Hirataのコアテクノロジーであるロボット技術を活かし、多くの産業に向けた各種ロボット・制御装置を製造・販売しています。当社のロボットは各生産設備に組み込まれ、その知能化を実現するなど、システムの一部として活躍しています。
直交大型ロボット
ガントリーロボットシリーズ
-
ガントリーロボット GR-3000シリーズ
-
ガントリーロボット GR-1750シリーズ
直交小型ロボット
小型、高速、高精度の汎用タイプの新型直交型ロボットです。
MACHINE-BASEシリーズ
単軸MB-207シリーズ
MACHINE-BASEシリーズ(ZW軸ユニット)
スカラ小型ロボット
ものづくりにおける豊富な経験とノウハウを活かした、高速で高精度の新型スカラロボットです。
AR-Fシリーズ
垂直多関節ロボット
高速、高精度の汎用タイプの垂直多関節ロボットです。
AR-Vシリーズ
3Dビジョンシステム
3Dビジョンシステム
ロボットコントローラー
小型の直交型およびスカラ型ロボット用のコントローラーを単体サポートします。
ロボットコントローラー
ティーチペンダント
ティーチペンダント
PCアプリ
シミュレーター
ウェーハ搬送ロボット
低真空環境から高真空環境まで対応可能なウェーハ搬送ロボットです。
300mm ウェーハ搬送ロボット
FOPLP 搬送ロボット
-
FOPLP対応 AR-Wnシリーズ
EFEM/ソーター
ウェーハおよびパネルの処理を行うプロセス装置の前面にあり、クリーンな環境で容器とプロセス装置間においてウェーハおよびパネルの受け渡しを行うEFEMと、ウェーハおよびパネルを移載するソーターのシリーズです。
300mm EFEM/ソーターシリーズ
FOPLP EFEM/ソーターシリーズ
-
4 Port
-
3 Port
-
2 Port
アライナ
ウェーハの位置決め装置です。
プリアライナ
エッジグリップアライナ
ロードポート
300mm、FOPLPウェーハ対応のロードポートです。
FOUPオープナ
SMIFオープナ
200mmウェーハ対応のSMIFポッドオープナです。
200mm SMIFポッドオープナ
基板搬送ロボットシリーズ
第5-6世代基板搬送ロボット
中型基板を高速かつ安全に搬送します。
第7-10世代基板搬送ロボット
大型基板を高速かつ安全に搬送します。
その他
その他の当社取り扱い製品をご紹介します。