製品情報
半導体関連生産設備
ロードポート
FOUPオープナ
300mm KWFシリーズ
実績多数 微細化、N2パージ、200mmカセットにも対応
特長
微細化へ対応 |
独自の気流解析により清浄空間の確保 Ｎ2パージ対応（オプション） |
|---|---|
多彩な容器に対応 |
FOUP、AUTO-FOSBに標準対応 |
高信頼性 |
これまでに培った機能を搭載し、信頼性を確保（MCBF 100万サイクル） 高精度マッピングにより、ウェーハの重なりや斜め挿入を検出 ラッチキーオーバーローテーション機能で確実に閉鎖 |
メンテナンス性の向上 |
バッテリーレスのため、メンテナンス性が大幅に向上 |