産業用ロボット

基板搬送ロボットシリーズ

第5-6世代基板搬送ロボット

第5世代 ガラス基板搬送ロボット CR-J0520CL

高剛性のツインマストタイプ


最大1100×1300mmまでの基板サイズに対応します。


【特長】

自由自在なレイアウト

複数の装置を1台のローダーでカバー

2段独立フォークユニットで、装置との取り合いを最適化

高機能&ローコスト設計

走行中にハンド上でアライメントができ、サイクルタイムが短縮

省スペース 

コントローラをロボット本体に組み込み、大幅な省スペース化を実現

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