製品情報
産業用ロボット
基板搬送ロボットシリーズ
第7-10世代基板搬送ロボット
第7-8.5世代 ガラス基板搬送ロボットCR-R0820CL
高剛性のツインマストタイプの高機能ロボット
最大2200mm×2500mmまでの基板サイズに対応します。
【特長】
| 自由自在なレイアウト |
複数の装置を1台のローダーでカバー |
|---|---|
| 高剛性・Z軸のロングストローク対応 |
ツインマスト方式により、高剛性・高精度を実現 |
| 環境負荷を低減 |
電源回生ユニットにより、消費電力を削除 |