製品情報
パネル製造装置
コーターシステム
コーターシステム
減圧乾燥炉 HVDシリーズ
レジストをムラなく高速乾燥
コーターシステムの中でレジスト塗布後のガラス基板を高速かつムラなく乾燥します。
【特長】
第3世代から第8.5世代まで対応 |
各世代に対応できる製品をラインナップ |
|---|---|
真空到達時間 |
真空到達圧力/時間 13pa/15sec |
乾燥時間の短縮 |
ホットプレートプロセス時間が半減 |
低温乾燥によるムラの発生防止 |
減圧乾燥により焼きムラを極力削減 |