製品情報 TOP 製品情報 パネル製造装置 減圧乾燥炉 HVDシリーズ パネル製造装置 コーターシステム コーターシステム 減圧乾燥炉 HVDシリーズ レジストをムラなく高速乾燥 コーターシステムの中でレジスト塗布後のガラス基板を高速かつムラなく乾燥します。 【特長】 第3世代から第8.5世代まで対応 各世代に対応できる製品をラインナップ 真空到達時間 真空到達圧力/時間 13pa/15sec 乾燥時間の短縮 ホットプレートプロセス時間が半減 低温乾燥によるムラの発生防止 減圧乾燥により焼きムラを極力削減 お問い合わせ 前へ 次へ 一覧へ戻る PRODUCT 製品情報トップ 自動車関連生産設備 半導体関連生産設備 パネル製造装置 産業用ロボット 家電関連生産設備 パワーモジュール関連 搬送設備・自動倉庫など 医療・理化学機器 デジタルツインサービス エコ電動シリーズ特設ページ