パネル製造装置

コーターシステム

コーターシステム

ヘッドコーター HCシリーズ

コーターシステムの中核をなす高精度塗布装置


高精度塗布装置で、省液、省エネ、液劣化が少なくランニングコストを大幅に低減できます。


第8世代対応のヘッドコーター HC8000

第4、5世代対応のヘッドコーターHC5000

ヘッドコーター内部

【特長】

第3世代から第10世代まで対応

各世代に対応できる製品をラインナップ

高精度塗布

最大塗布粘度、1~15000cps

省液・省エネ

レジスト液、洗浄液などの省液化

クローズド方式の塗布により、液の劣化が少ない