大型液晶ガラス基板対応レジスト塗布装置開発

製品・技術

2001.10.01

当社は、液晶表示装置に使われる大型のガラス基板(世界最大サイズ1100ミリ×1250ミリ)に、感光性樹脂(レジスト)を塗布する装置を開発しました。ヘッドコーター方式を採用することにより、レジスト液が10分の1程度で済み、省エネ・省資源に配慮しています。価格は、1台7千万円-1億円。 (日本経済新聞、日経産業新聞、電波新聞、熊本日日新聞に記事掲載)