「半導体後工程自動化・標準化技術研究組合(SATAS)」のメンバーとして後工程の自動化に取り組みます
お知らせ
2024.05.07
Ⅰ.「半導体後工程自動化・標準化技術研究組合」(SATAS)概要
1.設立目的
- 昨今、半導体は経済安全保障推進法上の「特定重要物資」と位置付けられており、半導体業界に関わる企業は、様々な地政学上のリスクを踏まえ、より強靭なサプライチェーンの構築に向けた柔軟な対応が求められます。
- また、AI時代に向けて、半導体のさらなる微細化技術とともに、より高度なパッケージング技術の進化が期待されています。
- これらをよりサステイナブルな方法で実現するには、半導体製造の後工程工場における自動化が急務です。
2.事業概要
- SATASは、半導体業界を代表する半導体メーカー、半導体製造装置メーカー、自動搬送装置メーカー等が中心となって、後工程の自動化に必要な技術を開発、共同検証し、標準化を目指すことで従来の半導体製造にトランスフォーメーションを促し、より効率的かつサステイナブルで柔軟なサプライチェーンの実現を目指します。
- 具体的には、半導体製造のパッケージング、アセンブリーやテスト工程(以下、後工程)のトランスフォーメーションおよび完全自動化の実現に向け、
- 後工程自動化に必要な技術およびオープンな業界標準仕様の作成
- 装置の開発と実装
- 統合されたパイロットラインでの装置の動作検証
等を行い、2028年での実用化を目指します。
- 本事業で得られた知見や技術を既存・新規の工場へ導入・実装することを実用化における重要な目標と位置付けます。
3.SATASの組織概要
(SATAS提供資料を当社で一部加工)
Ⅱ.当社がSATASに加入する目的
- 当社は、半導体製造装置に組み込む搬送装置を製造・販売しております。
- 当社は、SATASが掲げる半導体製造に関する課題認識と今後の方向性について賛同するとともに、当社が得意とする搬送技術やこれまでの事業を通じて培ってきた実績等を活かし、後工程の自動化・標準化に貢献することを目指します。
Ⅲ.当社のSATASでの貢献領域
- 当社は、SATASが設ける6つの研究領域のうち、「自動搬送・保管システム」、「ロードポート&フロントエンドモジュール」、「搬送用メインフレーム」の3分野での研究開発に携わります。
【ご参考①】SATASの概要
設立日 |
2024年4月16日 |
理事会 |
理事長:鈴木 国正(インテル株式会社 代表取締役社長) |
理事:高橋 知樹(株式会社三菱総合研究所 全社連携事業推進本部 情報通信分野担当本部長) |
|
理事:浜島 雅彦(有限会社セミ・ジャパン 代表取締役) |
|
監事:三尾 美枝子(紀尾井町法律事務所 弁護士) |
|
組合員 *50音順 |
インテル株式会社 オムロン株式会社 シャープ株式会社 信越ポリマー株式会社 シンフォニアテクノロジー株式会社 有限会社セミ・ジャパン 株式会社ダイフク 平田機工株式会社 株式会社FUJI 株式会社三菱総合研究所 ミライアル株式会社 村田機械株式会社 ヤマハ発動機株式会社 株式会社レゾナック・ホールディングス ローツェ株式会社 |
本部所在地 |
東京都千代田区永田町2-10-3 株式会社三菱総合研究所内 |
事業内容 |
半導体後工程の自動化・標準化に係る研究開発を推進。半導体生産の経済性に大きな影響を及ぼすことになる後工程に着目し、省力化・自動化推進に必要な装置・システム間の標準化を進め、プロト、商用モデル、パイロットラインでの検証を行う。 |
(SATAS提供資料より抜粋)
【ご参考②】当社の半導体関連製品群
(1)ウェーハ搬送装置
半導体の製造工程(主に前工程)の各処理工程ごとに設置され、処理装置にウェーハを搬出入する機能を持つ。EFEMは、別工程から運ばれてきたFOUP(複数枚のウェーハを収納した密閉容器)のドア(裏蓋)を開閉するロードポート、EFEMの背後にある処理装置にウェーハの受け渡し等を行う搬送ロボット等によって構成される。
(2)検査装置間の搬送装置
半導体製造工場の後工程(主に検査工程)において、ウェーハから切り出されたICチップをストッカーから搬送用トレイに移載するチップハンドラー等
(※お客様との守秘義務により、製品画像は掲載しておりません)
(3)PLP搬送装置
PLP(Panel level package)はICチップのパッケージング工程においてウェーハではなくパネルを使用。
使用する装置は機能的にはウェーハ搬送用と同様であるが、サイズは大型となる。
【ご参考③】当社概要
会社名 |
平田機工株式会社 |
本社所在地 |
熊本県熊本市北区植木町一木111番地 |
代表者名 |
代表取締役 社長執行役員 平田 雄一郎 |
設立 |
1951年12月29日 |
資本金 |
2,633 百万円 |
事業内容 |
各種生産システム、産業用ロボットおよび物流関連機器等の製造ならびに販売 |
上場市場 |
東京証券取引所 プライム市場(証券コード 6258) |
従業員 |
連結 2,234名 単体 1,359名 ※2023年3月31日現在 |
事業所 |
国内7拠点(熊本県4拠点、栃木県、滋賀県、東京都) |
関係会社 |
国内3社(熊本県2社、東京都) 海外9社(アメリカ、メキシコ、ドイツ、シンガポール、タイ、マレーシア、中国・台湾) |
ウェブサイトURL |