FOUPオープナ
この製品はこれらの分野に使われています。
ISMIの評価実施 300mmで培った機能を伝承
特長
微細化へ対応
独自の気流解析により清浄空間の確保
Ｎ2パージ対応（オプション）
多彩な容器に対応
FOUP、MACに標準対応
高信頼性
300㎜ロードポートで培った機能を搭載し、信頼性を確保（MCBF 100万サイクル）
高精度マッピングにより、ウェーハの重なりや斜め挿入を検出
ラッチキーオーバーローテーション機能で確実に閉鎖
メンテナンス性の向上
バッテリーレスのため、メンテナンス性が大幅に向上
