第5-6世代基板搬送ロボット
この製品はこれらの分野に使われています。
テレスコピックタイプの高機能、ローコストロボット
最大1100×1300mmまでの基板サイズに対応します。Z軸は、2段・3段・4段を標準装備したテレスコピック方式です。ストロークは最大1600mmまで対応できます。
【特長】
自由自在なレイアウト | 複数の装置を1台のローダーでカバー 2段独立フォークユニットで、装置との取り合いを最適化 |
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高機能&ローコスト設計 | 走行中にハンド上でアライメントができ、サイクルタイムが短縮 |
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省スペース | コントローラをロボット本体に組み込み、大幅な省スペース化を実現 |
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