200mm SMIFポッドオープナ
オペレータによる容器開閉をサポート
【特長】
マニュアル開閉タイプ
オペレータにより容器の開閉をサポート
高クリーン性能
機構部の隔離と強制排気によるパーティクル低減
気流制御でパーティクルの巻き込み防止
容器開閉動作の制御による乱流・巻き込み防止
レチクルポッド対応
RSP-200規格容器の開閉可能（オプション）
