製品情報 TOP 製品情報 半導体関連生産設備 3 Port 半導体関連生産設備 EFEM/ソーター "Freedom ®" 450mm EFEM/ソーターシリーズ 3 Port ISMIの評価実施 微細化、N2パージ対応 【特長】 微細化・高集積化に対応 スーパークリーン技術により、微細化に対応 短時間で置換可能なN2パージ機能 豊富なバリエーション、カスタム対応 拡張性がある基本設計によりあらゆるご要求に対応可能 スループット 独自のモーション技術により、高速で安定した搬送が可能 小フットプリント ロボット、ロードポートの最適化により、小フットプリントを実現 上位通信 導入Fabに応じて対応 ISMIによる評価 2009年よりISMIにて評価を実施 総合カタログ 8.76MB お問い合わせ 前へ 次へ 一覧へ戻る PRODUCT 製品情報トップ 自動車関連生産設備 半導体関連生産設備 パネル製造装置 産業用ロボット 家電関連生産設備 パワーモジュール関連 搬送設備・自動倉庫など 医療・理化学機器 FA機器単品販売