製品情報
半導体関連生産設備
EFEM/ソーター "Freedom ®"
450mm EFEM/ソーターシリーズ
3 Port
ISMIの評価実施 微細化、N2パージ対応
【特長】
微細化・高集積化に対応 |
スーパークリーン技術により、微細化に対応 短時間で置換可能なN2パージ機能 |
|---|---|
豊富なバリエーション、カスタム対応 |
拡張性がある基本設計によりあらゆるご要求に対応可能 |
スループット |
独自のモーション技術により、高速で安定した搬送が可能 |
小フットプリント |
ロボット、ロードポートの最適化により、小フットプリントを実現 |
上位通信 |
導入Fabに応じて対応 |
ISMIによる評価 |
2009年よりISMIにて評価を実施 |