半導体関連生産設備

EFEM/ソーター "Freedom ®"

450mm EFEM/ソーターシリーズ

4 Port

ISMIの評価実施 微細化、N2パージ対応



【特長】

微細化・高集積化に対応

スーパークリーン技術により、微細化に対応

短時間で置換可能なN2パージ機能

豊富なバリエーション、カスタム対応

拡張性がある基本設計によりあらゆるご要求に対応可能

スループット

独自のモーション技術により、高速で安定した搬送が可能

小フットプリント

ロボット、ロードポートの最適化により、小フットプリントを実現

上位通信

導入Fabに応じて対応

ISMIによる評価

2009年よりISMIにて評価を実施