製品情報

産業用ロボット

ロードポート

FOUPオープナ

300mm KWFシリーズ

実績多数微細化、N2パージ、200mmカセットにも対応

特長


微細化へ対応	独自の気流解析により清浄空間の確保Ｎ2パージ対応（オプション）
多彩な容器に対応	FOUP、AUTO-FOSBに標準対応
高信頼性	これまでに培った機能を搭載し、信頼性を確保（MCBF 100万サイクル）高精度マッピングにより、ウェーハの重なりや斜め挿入を検出ラッチキーオーバーローテーション機能で確実に閉鎖
メンテナンス性の向上	バッテリーレスのため、メンテナンス性が大幅に向上

総合カタログ 8.76MB

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