産業用ロボット

ロードポート

FOUPオープナ

450mm KWFシリーズ

ISMIの評価実施 300mmで培った機能を伝承



特長

微細化へ対応

独自の気流解析により清浄空間の確保
N2パージ対応(オプション)

多彩な容器に対応

FOUP、MACに標準対応

高信頼性

300㎜ロードポートで培った機能を搭載し、信頼性を確保(MCBF 100万サイクル)
高精度マッピングにより、ウェーハの重なりや斜め挿入を検出
ラッチキーオーバーローテーション機能で確実に閉鎖

メンテナンス性の向上

バッテリーレスのため、メンテナンス性が大幅に向上