半導体関連生産設備

ウェーハ搬送ロボット

450mm ウェーハ搬送ロボット

真空対応 AR-Wnシリーズ

300 ㎜/450 ㎜ウェーハ兼用
高真空 高精度、高速動作、高信頼でアームバリエーションも豊富



特長

微細化へ対応

ダイレクトドライブモーター搭載により、振動0.1G以下を実現

アーム駆動にスチールベルトを使用し、ヨーイング(横ブレ)およびドリフト(一方向への移動)を低減

高スループット

高剛性、高精度、高速搬送により、高スループットを実現

スマートモーション機能を搭載し、搬送時間を短縮

高信頼

磁性流体シールを削減し、チェンバー内の流体飛散を防止

衝突検知停止機能を搭載し、アームへのダメージを抑え、搬送時間を短縮

メンテナンス性の向上

特殊アブソリュートエンコーダおよびコントローラーのバッテリーレス化により、メンテナンス性が大幅に向上