ダイレクトドライブモーター搭載により、振動0.1Ｇ以下を実現
アーム駆動にスチールベルトを使用し、ヨーイング（横ブレ）およびドリフト（一方向への移動）を低減

高剛性、高精度、高速搬送により、高スループットを実現
スマートモーション機能を搭載し、搬送時間を短縮

磁性流体シールを削減し、チェンバー内の流体飛散を防止
衝突検知停止機能を搭載し、アームへのダメージを抑え、搬送時間を短縮

特殊アブソリュートエンコーダおよびコントローラーのバッテリーレス化により、メンテナンス性が大幅に向上