産業用ロボット

EFEM/ソーター

450mm EFEM/ソーターシリーズ

3 Port

ISMIの評価実施 微細化、N2パージ対応



特長

豊富なバリエーション、カスタム対応

拡張性がある基本設計によりあらゆるご要求に対応可能

スループット

独自のモーション技術により、高速で安定した搬送が可能

小フットプリント

ロボット、ロードポートの最適化により、小フットプリントを実現

上位通信

導入Fabに応じて対応

ISMIによる評価

2009年よりISMIにて評価を実施