半導体関連生産設備

アライナ

プリアライナ

450mm プリアライナ

センサー方式で非接触、パーティクルを抑制



【特長】

高クリーン性能

接触面積を最小限にすることでパーティクルの発生を抑制

高速アライメント

非接触(センサー方式)で、オリフラタイプ・ノッチタイプに対応

アライメント時間 2秒以下、補正精度 ±0.2°で高速処理による高アライメントを実現