半導体関連生産設備

ウェーハ搬送ロボット

450mm ウェーハ搬送ロボット

大気対応 AR-Wn230CL

軽量化・省スペース、高速搬送を実現



【特長】

豊富なバリエーション

シングルアーム、シングルアーム反転軸付き、ツインアーム、ツインアーム片側反転軸付きなど

昇降軸ロングストローク対応

テレスコ式昇降軸にて940mmのロングストロークのバリエーションを追加

バッテリーレス

新型エンコーダ採用により、エンコーダーバックアップのバッテリーを廃止

スループット向上

自社独自開発の動作制御の機能向上によりなめらかな連続動作を実現

制振制御

自社独自開発の制振制御を採用し、メカ振動の抑制を実現