パネル製造装置

基板搬送システムオートローダー

オートローダーシステム HLDシリーズ

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オートローダーシステム HLDシリーズ

省スペースのガラス基板高速搬入出システム

 

ガラス基板をストッカーに搬出入するシステムです。エレベーター、インラインバッファ、クロスコンベヤの関連製品もそろえ、大型システムにも対応できます。

 

エレベーター

インラインバッファ

クロスコンベヤ

【特長】

第3世代から第10世代まで対応

各世代に対応できる製品をラインナップ

省スペース

カセット内側位置決め方式採用により、ポートの間ピッチを縮小。補器類をすべて装置へ内蔵

高クリーン度、ズレ修正機能付

非接触アライナを採用し、 カセット内でズレた基板もカセットに触れることなく抜き取り可能

安全性

作業者・機械の安全性を考えた、各種インターロック機能付き

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