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スタックヒーターHSHシリーズ

省スペースかつ高クリーンのスタックヒーター

 

省スペースかつ高クリーン度を確保した上、高精度温度分布を実現したスタックヒーターです。

 

内部構造

【特長】

第3世代から第8.5世代まで対応

各世代に対応できる製品をラインナップ

省スペース

ホットプレート方式に比べ 設置面積が半減

高クリーン度

可動部なくしクリーン度向上、集中トラップにより昇華物の付着削減

ピンムラの低減

両面加熱により、ピンムラなどの低減

温度精度

設定温度 50~200℃

温度精度 Range:4℃

気流コントロールにより高精度温度分布を実現

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