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300mm KWFシリーズ

実績多数 微細化、N2パージ、200mmカセットにも対応

 

特長

微細化へ対応

独自の気流解析により清浄空間の確保

N2パージ対応(オプション)

多彩な容器に対応

FOUP、AUTO-FOSBに標準対応

高信頼性

これまでに培った機能を搭載し、信頼性を確保(MCBF 100万サイクル)

高精度マッピングにより、ウェーハの重なりや斜め挿入を検出

ラッチキーオーバーローテーション機能で確実に閉鎖

メンテナンス性の向上

バッテリーレスのため、メンテナンス性が大幅に向上

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