半導体関連生産設備

ロードポート

FOUPオープナ

  • お問い合わせ

450mm KWFシリーズ

ISMIの評価実施 300mmで培った機能を伝承

 

特長

微細化へ対応

独自の気流解析により清浄空間の確保

N2パージ対応(オプション)

多彩な容器に対応

FOUP、MACに標準対応

高信頼性

300㎜ロードポートで培った機能を搭載し、信頼性を確保(MCBF 100万サイクル)

高精度マッピングにより、ウェーハの重なりや斜め挿入を検出

ラッチキーオーバーローテーション機能で確実に閉鎖

メンテナンス性の向上

バッテリーレスのため、メンテナンス性が大幅に向上

  • お問い合わせ
  • 一覧へ
  • 次の製品へ

事業・製品

  • 事業分野一覧
  • 自動車関連 生産設備
  • 半導体関連 生産設備
  • FPD関連 生産設備
  • 産業用ロボット
  • 電子・電気機械器具関連 生産設備
  • パワーモジュール関連
  • 搬送設備・自動倉庫など
  • 医療・理化学機器
  • FA機器単品販売
  • 製品・技術のうつりかわり
  • バナーHirataのあゆみ
  • バナーHirataはこんな会社です
  • ものづくりライブラリー 製品動画
  • ものづくりライブラリー 製品カタログ