半導体関連生産設備

ウェーハ搬送ロボット

450mm

  • お問い合わせ

高真空対応 AR-Wnシリーズ

300 ㎜/450 ㎜ウェーハ兼用

高真空 高精度、高速動作、高信頼でアームバリエーションも豊富

 

特長

微細化へ対応

ダイレクトドライブモーター搭載により、振動0.1G以下を実現

アーム駆動にスチールベルトを使用し、ヨーイング(横ブレ)およびドリフト(一方向への移動)を低減

高スループット

高剛性、高精度、高速搬送により、高スループットを実現

スマートモーション機能を搭載し、搬送時間を短縮

高信頼

磁性流体シールを削減し、チェンバー内の流体飛散を防止

衝突検知停止機能を搭載し、アームへのダメージを抑え、搬送時間を短縮

メンテナンス性の向上

特殊アブソリュートエンコーダおよびコントローラーのバッテリーレス化により、メンテナンス性が大幅に向上

  • お問い合わせ
  • 前の製品へ
  • 一覧へ

事業・製品

  • 事業分野一覧
  • 自動車関連 生産設備
  • 半導体関連 生産設備
  • FPD関連 生産設備
  • 産業用ロボット
  • 電子・電気機械器具関連 生産設備
  • パワーモジュール関連
  • 搬送設備・自動倉庫など
  • 医療・理化学機器
  • FA機器単品販売
  • 製品・技術のうつりかわり
  • バナーHirataのあゆみ
  • バナーHirataはこんな会社です
  • ものづくりライブラリー 製品動画
  • ものづくりライブラリー 製品カタログ