産業用ロボット

SMIFオープナ

200mm SMIFポッドオープナ

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KWPシリーズ(自動開閉)

上位装置による自動開閉タイプ

 

【特長】

上位装置による自動開閉タイプ

上位装置へドッキングすることで、ミニエンバイロメントを実現

高クリーン性能

機構部の隔離と強制排気によるパーティクル低減

気流制御でパーティクルの巻き込み防止

容器開閉動作の制御による乱流・巻き込みの防止

スモールフットプリント

スモールフットプリントの実現により、専用機との接続・組込みが容易

レチクルポッド対応

RSP-200規格容器の開閉可能(オプション)

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