産業用ロボット

ウェーハ搬送ロボット

300mm ウェーハ搬送ロボット

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この製品はこれらの分野に使われています。

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真空対応 AR-Wnシリーズ

高クリーン、高真空

 

【特長】

高クリーン性能

磁性流体シールとメッシュフィルタなどにより、パーティクルの発生を抑制

高真空

高性能磁性流体ユニットの採用により、低リークレートを実現

豊富なバリエーション

アーム長・アームタイプの自在な組み合わせおよび高真空・低真空の選択が可能

原点復帰不要

全軸にABSエンコーダ仕様のACサーボモータを使用し、原点復帰動作が不要

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