産業用ロボット

基板搬送ロボットシリーズ

第7-10世代基板搬送ロボット

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第7-8.5世代 ガラス基板搬送ロボットCR-R0820CL

高剛性のツインマストタイプの高機能ロボット

 

最大2200mm×2500mmまでの基板サイズに対応します。

【特長】

自由自在なレイアウト

複数の装置を1台のローダーでカバー
リンクアーム式採用により、旋回径を縮小

高剛性・Z軸のロングストローク対応

ツインマスト方式により、高剛性・高精度を実現
Z軸ストロークは、最大5000mmまで対応

環境負荷を低減

電源回生ユニットにより、消費電力を削除

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