半導体関連生産設備

SMIFオープナ

200mm SMIFポッドオープナ

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KWYシリーズ (マニュアル)

オペレータによる容器開閉をサポート

 

【特長】

マニュアル開閉タイプ

オペレータにより容器の開閉をサポート

高クリーン性能

機構部の隔離と強制排気によるパーティクル低減

気流制御でパーティクルの巻き込み防止

容器開閉動作の制御による乱流・巻き込み防止

レチクルポッド対応

RSP-200規格容器の開閉可能(オプション)

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