半導体関連生産設備

SMIFオープナ

200mm SMIFポッドオープナ

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KWOシリーズ(アーム付)

チルト機構付アームを搭載

 

 

アーム収納時

【特長】

カセット搬送アーム付きタイプ

プロセス装置へカセットを搬送するチルト機構付きアームを搭載

高クリーン性能

機構部の隔離と強制排気によるパーティクル低減

気流制御でパーティクルの巻き込み防止

開閉動作の制御による乱流・巻き込みの防止

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