ニュース

2006年

セミコン・ジャパン 2006

ホームページ

会期 12月06日(水)~ 12月08日(金) 
会場 幕張メッセ
当社ブース 8B-407
出展内容 〔出展製品〕
1.ウェハ搬送ロボット
2.FOUPオープナー
3.SMIFオープナー
4.EFEM & プラットホーム
〔出展製品の見どころ〕
業界最高評価のロードポート、新型大気搬送ロボット等、さまざまなクリーンアイテムを用いたウェハ搬送のデモを行いました。