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2003年

セミコン・ジャパン 2003

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千葉の幕張メッセ国際展示場で開催されたセミコンジャパン2003にウェハ搬送ロボット、EFEMなどを出展いたしました。

会期 12月03日(水)~ 12月05日(金) 

SEMICON West 2003

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アメリカ/サンフランシスコで行われた世界最大規模の展示会SEMICON Westに出展いたしました。

会期 07月14日(月)~ 07月16日(水) 

フラットパネルディスプレイ製造技術展(通称 ファインテック・ジャパン2003)

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東京ビッグサイトで開催されたフラットパネルディスプレイ製造技術展(通称ファインテック・ジャパン2003)に以下の装置を出展いたしました。

会期 07月02日(水)~ 07月04日(金) 
出展内容 ・第6世代、第7世代の大型ガラス基板に対応した、大型ガラス基板搬送ロボット
・高精度レジスト塗布装置 ヘッドコーター
・省電力ベイク(乾燥)装置 スタックヒーター