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2002年

セミコン・ジャパン 2002

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12月4日-6日、千葉の幕張メッセ国際展示場で開催されたSEMICON Japan 2002に、以下のロボットを出展いたしました。

会期 12月02日(月)~ 12月06日(金) 
出展内容 業界で最もコンパクトな、オールACサーボの300mmウェハ搬送ツインアームロボット
社内の高速高精度加工機械による真空チャンバーと300mmウェハ搬送真空ロボット
完全に駆動部を分離し、パーティクルレスにした、オペレータ対応SMIFポッズオープナ
業界で最高の評価を頂いている全電動FOUPオープナ